دیگر اجازه ندهید که گرمای تولید شده توسط لامپهای IR، به همه جا سرایت کند.
مشکل لامپهای IR این است که آنها گرما را در تمام جهات پخش میکنند. در چامبرهای خشککردن نیمههادی، هر گرمایی که به ویفر برخورد نکند، در واقع هدر رفته است.
اما این موضوع فقط مربوط به هدررفت انرژی نیست؛ گرمای اضافی، دیوارههای داخلی دستگاه را آسیب میزند. اگر بدنه دستگاه آنقدر گرم شود که بتواند باعث سوختن انسان شود، پس مشکل مربوط به گرمایش نیست، بلکه مشکل مربوط به جهت توزیع گرماست.
توزیع صحیح گرما
ما این مشکل را با استفاده از منعکسکنندههای دقیق حل میکنیم. باید به جای «بازتاب نور»، به تغییر شکل نور فکر کنیم.
با قرار دادن یک سپر پارابولیک – که معمولاً با طلا یا آلومینیوم پوشانده شده است – پشت لامپ، میتوانیم تمام انرژی IR را مستقیماً روی ویفر هدایت کنیم. در واقع، ما یک لامپ را به یک پرتو نور متمرکز تبدیل میکنیم.
نتیجه؟ توزیع گرمای بسیار بهتری. ویفر سریعتر به دمای مناسب میرسد، و بدنه دستگاه نیز خنک باقی میماند.
انتخاب مواد مناسب
موادی که انتخاب میکنید، بستگی به طول موج نور دارد. منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا، استاندارد برای نورهای با طول موج بلند هستند؛ اما قیمتشان بالاتر است. برای نورهای با طول موج کوتاه، استفاده از آلومینیوم صیقلی کافی است.
اما اینجاست که مشکلات پیش میآید؛ این منعکسکنندهها باید در برابر گرمای شدید، تغییر شکل ندهند. اگر شکل منعکسکننده به دلیل انبساط حرارتی، حتی چند میلیمتر تغییر کند، توزیع گرما اختلال خواهد داشت. در این صورت، نقاط گرم روی ویفر ایجاد میشود؛ این امر میتواند باعث خشک شدن ناهموار ویفر یا آسیب به آن شود.
کاربرد عملی
تنظیم صحیح سیستم توزیع گرما، به سیستمهای تهویه مطبوع ساختمان نیز کمک میکند. از آنجایی که گرما در سراسر اتاق تمیز پخش نمیشود، سیستمهای خنککننده نیازی به تلاش بیشتری نخواهند داشت.
فقط یک نکته: وقتی گرما را متمرکز میکنید، شدت گرمای وارد بر ویفر نیز افزایش مییابد. باید نقطه تعادل مناسبی بین منحنی منعکسکننده و توان لامپ پیدا کنید. اگر توان لامپ را بدون تنظیم نقطه تمرکز، بیش از حد افزایش دهید، خطر سوختن لبههای ویفر وجود دارد. همه چیز به تعادل بستگی دارد.