水素センサーを製造するときは、非常にリスクの高い作業です。たった一粒のほこりだけでも、一括して製造された製品を台無しにしてしまう可能性があります。 そのため、クラス100の清浄室では、一般的なヒーターは使えません。ほとんどのヒーターは、加熱を始めるとすぐに粒子を放出したり、ガスが漏れ出したりします。これは、絶対に避けたい問題です。 私たちは、高純度の石英を用いた赤外線ランプを使用してこの問題を解決しています。 なぜこれが重要かというと、ランプの外殻には合成フューズドシリカが使用されているからです。この素材は、加熱してもほとんど変形しません。ひび割れたり、剥がれたりすることもありません。また、純粋な石英であるため、高温度でも蒸発するような不純物や接着剤は存在しません。 熱は短波長の赤外線によって伝わります。直接基板に当たるため、周囲の空気を加熱する時間がかかりません。これにより、床からほこりが舞い上がるような対流現象も起こりません。 次に、「バーンイン」の問題についてです。 おそらく、一般的なハロゲンランプを見たことがあるでしょう。それらは、初めて使用すると煙を発生させたり、VOCを放出したりする安価な接着剤やシール材が使われています。私たちはそうしません。専用の気密シールや高品質の電極を使用し、あらゆる有機物質を取り除きます。 その結果、硬化や堆積の過程でランプが清潔で静かな状態を保ちます。ガスの発生もなく、何の問題もありません。 ただし、注意点もあります。 これらのランプは非常に強力です。秒単位で目的の温度に到達します。しかし、その強力さゆえに、取り付け方には十分注意が必要です。石英を強く固定しすぎると、熱応力でチューブが壊れてしまいます。 私のアドバイスは、浮動式のマウントを使用することです。ランプに十分なスペースを与えましょう。 これらのランプを生産ラインに導入するのは、実際には簡単です。必要なワット数や長さを教えてあげれば、センサーワイヤ全体に均一な熱が行き渡ります。 ホットスポットもなく、汚染もありません。純粋でクリーンな熱だけです。