倉庫用ヒーター
倉庫内では、寒さは単に不快なだけでなく、あらゆる作業の効率を低下させます。暖房が追いつかないと、商品のピッキング作業が遅れたり、余計な重ね着が必要になったりし、設備や商品が適切な温度で保管されていないという心配も生じます。私たちは、このような問題を根本的に解決するための倉庫用ヒーターを開発しました...
オゾンフリー赤外線ランプ
リソグラフィーの工程において、フォトレジストの焼成過程での再現性は、単なる望ましい特性ではなく、むしろ不可欠な要素です。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃でも温度が変動すると、ウェーハの寸法制御が乱れてしまいます。また、わずかな粒子の混入だけで、大量のウェーハが廃棄されてしまうこともあります。そ...
ハロゲン式屋外ヒーター
夜が訪れ、外の空気は冷たくなります。来客たちはジャケットをしっかりと着込み、会話も少なくなってしまい、本来楽しみにしていた夜の時間が台無しになってしまいます。従来のヒーターは、暖めるのに時間がかかり、効果も不均一で、騒音も大きすぎます。そこで私たちは、空間を感知し、即座に反応する赤外線ヒーターを開...
電気式床暖房
スマートホームは、暖房装置が制御を妨げると、もはや「スマート」とは言えなくなります。従来のシステムでは、熱が長時間保持され続けるため、過剰なエネルギー消費や、快適になるまでの長い待ち時間が発生します。解決策としては、スマートサーモスタットの指示に即座に反応する、低慣性の赤外線式電気床暖房装置を使用...
半導体用クォーツハロゲンヒーターブルブ
製造現場において、熱ドリフトは単なる理論上の問題ではありません。それはウェーハの線幅の変動や接着力の低下、歩留まりの悪化といった形で現れます。したがって、温度を安定させ、迅速に設定値に到達し、日々清潔な状態を維持できる熱源が必要です。
技術的に重要な点 クォーツハロゲン電球は、高速かつ安定した赤外...
ウェーハ表面張力測定用ヒーター
リソグラフィーの工程では、焼成温度がわずか半度でも変動すると、重要な寸法の制御が失われてしまいます。そうなると、ウェーハを廃棄せざるを得なくなります。
私たちは、このような温度変動を未然に防ぐために、ウェーハ表面の表面張力を測定するヒーターを開発しました。これは、フォトレジストの化学反応、熱的条件...
冬用テントヒーター
冬場には、普通のテントでも全く異なる存在になってしまいます。適切な暖かさがなければ、夜は長く感じられます。息が白く見え、朝になると指が固くなり、湿った寒気が体に残り続けます。冬用のテントヒーターは、単に温度を上げるだけでは不十分です。むしろ、水分や煙、騒音を部屋の中に放出することなく、素早く快適さ...
ポリイミド焼成用赤外線ランプ
リソグラフィーの工程において、ポリイミドの加熱処理は、熱エネルギーをどのように制御するかという点で重要です。数度の温度変動があると、ウェーハの側壁に歪みが生じます。また、局所的な過熱があると、ウェーハ上に粒子が発生します。したがって、この加熱処理は、すべてのロットにおいて、再現性があり、クリーンで...
カーボンクリスタルヒーター
市立の建物――図書館、コミュニティセンター、メンテナンス施設などでは、冬期の暖房は単に快適さを確保するためだけのものではありません。それは、予算を圧迫する要因にもなり得ます。
従来の強制送風式の暖房システムでは、空気が温められて上昇し、屋根や通気口から外に漏れ出てしまいます。その結果、床にいる人々...
装飾用のスペースヒーター
狭いアパートでは、床のスペースが非常に貴重です。大きなヒーターを使うと、リビングルームが障害物だらけの空間になってしまいます。必要なのは、すぐに温かさをもたらし、見た目も美しく、邪魔にならない暖房装置です。壁掛け式の赤外線ヒーターは、まさにそのような機能を持っています。床のスペースを一切取らずに、...
電気暖炉ヒーター
シャワーを出て、まるで冷凍庫のような浴室に足を踏み入れるのは、単に不快だけでなく、筋肉を緊張させ、エネルギーを奪ってしまいます。ランプ型のヒーターは空気を温めようとしますが、湿度の影響で効果が薄れ、冷たい場所が残ります。防水機能付きの赤外線電気暖房器なら、この問題を解決してくれ、簡単なシャワーを取...
カスタム産業用赤外線ファブシステム
製造現場では、フォトレジスト処理における温度ドリフトを、長年付き合ってきた厄介な敵のように扱うことを学びます。ウェーハ全体で±3℃のばらつきを持つ90℃のソフトベイク?この程度の温度分布のズレは、クリティカルディメンションのバイアスを変化させ、後に手戻りとなるエッジビードを発生させます。そこで、私...
ミニセラミックヒーター
このミニ電気スペースヒーターのラインは、赤外線暖房をシンプルにするために設計されました。限られたスペースや予算、長引く冬の環境に対応します。方式は単純で、温風を送るのではなく輻射熱を利用します。快適さをほぼ即座に感じられ、部屋は静かなままです。
内部で実際に起こっていること
これらのユニットは赤外...
産業用ウエハーヒーター工場
ファブフロアでは、フォトレジストベークの温度が0.3℃ずれるだけで、ライン幅が逸脱し、ロット全体がスクラップになることがある。大量ウェハ製造において、熱制御は「あると良いもの」ではなく、歩留まりを確保するかスクラップを出すかの境界線である。
内部で重要なポイント 当社は半導体プロセスウィンドウに適...
ハロゲンヒーター
エネルギー価格は上昇し続けており、サーモスタットの設定温度が1度上がるごとにコストに影響します。部屋全体を暖める必要はなく、実際に使用している空間だけを暖めれば十分です。ハロゲン赤外線ヒーターは直接的な放射熱を供給するため、快適さを保ちながら電力消費を大幅に抑えられます。
技術的に重要なポイント...